高濃度半導(dǎo)體廢水怎么處理方法|如何處理高濃度半導(dǎo)體廢水

高濃度半導(dǎo)體廢水主要來(lái)源于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的各個(gè)工藝步驟，如光刻、顯影、濕法/干法刻蝕、離子注入、化學(xué)氣相沉積、化學(xué)機(jī)械拋光、芯片研磨以及芯片拋光等。其主要特點(diǎn)為：

污染物種類(lèi)多、濃度高：半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的化學(xué)物質(zhì)繁多，包括各種酸、堿、有機(jī)溶劑、重金屬等，這些物質(zhì)在廢水中含量往往較高。
毒性大：半導(dǎo)體廢水中的重金屬和有機(jī)溶劑等物質(zhì)對(duì)人體和環(huán)境具有很大的毒性。
濃度的波動(dòng)性：由于生產(chǎn)過(guò)程的波動(dòng)，半導(dǎo)體廢水中的污染物濃度往往會(huì)出現(xiàn)大幅度波動(dòng)。

高濃度半導(dǎo)體廢水的處理方法主要有生物處理法、膜分離技術(shù)等。其工藝流程如下：

預(yù)處理：去除大顆粒物，通過(guò)過(guò)濾、沉淀等方法去除廢水中的大顆粒物，防止堵塞管道和設(shè)備；調(diào)節(jié)水質(zhì)，通過(guò)加藥、混合等方法調(diào)節(jié)廢水pH值，使其達(dá)到后續(xù)處理的最佳范圍；去除油類(lèi)物質(zhì)，通過(guò)分離、吸附等方法去除廢水中的油類(lèi)物質(zhì)，防止對(duì)環(huán)境造成污染。
主體處理：化學(xué)沉淀，通過(guò)向廢水中投加化學(xué)藥劑，使某些離子形成沉淀物，再通過(guò)沉淀、過(guò)濾等方法去除；氧化還原，通過(guò)向廢水中投加氧化劑或還原劑，使某些有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為無(wú)害物質(zhì)；生物處理，利用微生物的代謝作用，使廢水中的有機(jī)物得到降解和轉(zhuǎn)化。
深度處理：高級(jí)氧化法，通過(guò)強(qiáng)氧化劑將廢水中的有機(jī)物進(jìn)行氧化分解，使其轉(zhuǎn)化為無(wú)害物質(zhì)；吸附法，利用活性炭、樹(shù)脂等吸附劑吸附廢水中的微量污染物；膜分離法，利用膜技術(shù)將廢水中的離子、分子、蛋白質(zhì)等進(jìn)行分離和純化。