半導(dǎo)體制造工藝中需要使用多種特殊氣體、大量的酸、堿等化學(xué)品以及有機(jī)溶劑和揮發(fā)性液體，這些氣體和化學(xué)品在半導(dǎo)體制造的不同工藝中使用，產(chǎn)生酸性、堿性、有機(jī)廢氣，這些廢氣如果沒(méi)有經(jīng)過(guò)處理直接排放，將造成嚴(yán)重的污染問(wèn)題，不僅影響人們的身體健康，惡化大氣環(huán)境，造成環(huán)境污染的公害事件等，因此，必須對(duì)半導(dǎo)體廢氣進(jìn)行凈化處理后，達(dá)到大氣污染物標(biāo)準(zhǔn)排放。

（1）酸性/堿性工藝廢氣

酸性廢氣來(lái)源于工藝流程中使用的各種酸液和酸性氣體對(duì)芯片的腐蝕過(guò)程和清洗過(guò)程，主要污染物為氟化物、硫酸霧、氮氧化物、氯化氫；堿性廢氣來(lái)源于刻蝕工序和工藝過(guò)程中使用的氨水和氨氣，主要成分為氨。

（2）有機(jī)廢氣

有機(jī)廢氣污染物丙酮、甲醇、二甲苯和異丙醇來(lái)源于使用有機(jī)溶劑清洗和光刻過(guò)程。半導(dǎo)體制造工藝中使用的有機(jī)溶劑量比較大，因此，對(duì)有機(jī)廢氣處理采取單獨(dú)處理設(shè)備。

（3）特殊氣體工藝尾氣

特殊氣體工藝廢氣是指在氧化、擴(kuò)散、CVD沉積、離子注入、干法刻蝕等工序中產(chǎn)生的微量硅烷、磷烷、硼烷、以及CLa、CF4。

（1）酸堿性廢氣處理方法

對(duì)清洗槽產(chǎn)生的酸堿廢氣、含氟廢氣以及預(yù)處理后的廢氣，輸送進(jìn)入酸堿洗滌塔，通過(guò)酸堿中和法將半導(dǎo)體制造工藝中的酸性堿廢氣、含氟廢氣去除，達(dá)到環(huán)保排放的要求。

酸堿洗滌塔屬于微分接觸逆流式，塔體內(nèi)的填料是氣液兩相接觸的基本構(gòu)件。塔體外部的氣體進(jìn)入塔體后，氣體進(jìn)入填料層，填料層上有來(lái)自于頂部的噴淋液體及前面的噴淋液體，并在填料上形成一層液膜，氣體流經(jīng)填料空隙時(shí)，與填料液膜接觸并進(jìn)行吸收或中和反應(yīng)，填料層能提供足夠大的表面積，對(duì)氣體流動(dòng)又不致造成過(guò)大的阻力，經(jīng)吸收或中和后的氣體經(jīng)除霧器收集后，經(jīng)出風(fēng)口排出塔外。廢氣由風(fēng)機(jī)自風(fēng)管吸入，自下而上穿過(guò)填料層循環(huán)水由塔頂通過(guò)液體分布器，均勻地噴淋到填料層中，沿著填料層表面向下流動(dòng)，進(jìn)入循環(huán)水箱。由于上升氣流和下降吸收劑在填料中不斷接觸，上升氣流中流質(zhì)的濃度越來(lái)越低，到塔頂時(shí)達(dá)到排放要求。液膜上的液體在重力作用下流入循環(huán)水池，并由循環(huán)泵抽出循環(huán)。噴淋塔上段配備有除霧系統(tǒng)，凈化后的氣體通過(guò)除霧器的彎曲通道，在慣性力及重力的作用下將氣流中夾帶的液滴分離出來(lái)，處理后的廢氣以一定的速度流經(jīng)除霧器，廢氣被快速、連續(xù)改變運(yùn)動(dòng)方向，因離心力和慣性的作用，廢氣內(nèi)的霧滴撞擊到除霧器葉片上被捕集下來(lái)，霧滴匯集形成水流，因重力的作用，下落至漿液池內(nèi)，實(shí)現(xiàn)了氣液分離，使得流經(jīng)除霧器的廢氣達(dá)到除霧要求后排出。

（2）有機(jī)廢氣處理方法

清洗槽、光刻機(jī)、去膠機(jī)等產(chǎn)生的有機(jī)廢氣，然而對(duì)于有機(jī)廢氣處理方法有很多種，常見(jiàn)主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解凈化法等，接下來(lái)，熙霖環(huán)保詳細(xì)介紹半導(dǎo)體有機(jī)廢氣處理方法。

① 活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來(lái)處理有機(jī)廢氣，這樣就能夠通過(guò)化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達(dá)到凈化有機(jī)廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度（≤800mg/m3）、無(wú)顆粒物、無(wú)粘性物、常溫的低濃度有機(jī)廢氣凈化處理。

活性炭?jī)艋矢撸ɑ钚蕴课娇蛇_(dá)到95%以上），實(shí)用遍及，操縱簡(jiǎn)單，投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費(fèi)用，替換下來(lái)的飽和以后的活性炭也是需要找專(zhuān)業(yè)人員進(jìn)行危廢處理，運(yùn)行費(fèi)用高。

② 燃燒法

燃燒法只在揮發(fā)性有機(jī)物在高溫及空氣充足的條件下進(jìn)行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各類(lèi)有機(jī)廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大于5000mg/m3 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進(jìn)行燃燒，燃燒溫度一般控制在1100℃，處理效率高，可以達(dá)到95％一99％。

熱力燃燒法適合于處理濃度在1000—5000 mg/m3 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃?xì)怏w，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒后產(chǎn)生的廢氣直接外排會(huì)導(dǎo)致二次污染。

通過(guò)熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機(jī)廢氣，其凈化率是比較高的，但是其投資運(yùn)營(yíng)成本極高。因廢氣排放的點(diǎn)多且分散，很難實(shí)現(xiàn)集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地面積。熱力燃燒比較適合24小時(shí)連續(xù)不斷運(yùn)行且濃度較高而穩(wěn)定的廢氣工況，不適合間斷性的生產(chǎn)產(chǎn)線工況。催化燃燒的投資和運(yùn)營(yíng)費(fèi)用相對(duì)熱力燃燒較低，但凈化效率也相對(duì)較低一些；但貴金屬催化劑容易因?yàn)閺U氣中的雜質(zhì)（如硫化物）等造成中毒失效，而更換催化劑的費(fèi)用很高；同時(shí)對(duì)廢氣進(jìn)氣條件的控制非常嚴(yán)格，否則會(huì)造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

③ UV光解凈化法

UV光解凈化法利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧（即活性氧），因游離氧所攜帶正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧，臭氧具有很強(qiáng)的氧化性，通過(guò)臭氧對(duì)有機(jī)廢氣、惡臭氣體進(jìn)行協(xié)同光解氧化作用，使有機(jī)廢氣、惡臭氣體物質(zhì)降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解凈化法具有高效處理效率，可達(dá)到95%以上；適應(yīng)性強(qiáng)，可適應(yīng)中低濃度，大氣量，不同有機(jī)廢氣以及惡臭氣體物質(zhì)的凈化處理；產(chǎn)品性能穩(wěn)定，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，每天可24小時(shí)連續(xù)工作；運(yùn)行成本低，設(shè)備耗能低，無(wú)需專(zhuān)人管理與維護(hù)，只需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設(shè)備性能安全穩(wěn)定，特別適用于半導(dǎo)體行業(yè)。

以上關(guān)于半導(dǎo)體廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實(shí)對(duì)于半導(dǎo)體廢氣處理，一般是需要根據(jù)廢氣的濃度、產(chǎn)生量、廢氣成分、如何收集等方面進(jìn)行設(shè)計(jì)。如果您有半導(dǎo)體廢氣需要凈化處理，可以隨時(shí)聯(lián)系熙霖環(huán)保,為您提供半導(dǎo)體廢氣處理方案